加速度センサー

加速度を検出する方法は幾つかあり、様々なものが開発されている。

一般的なものとしては、機械式、光学式、半導体式(MEMS)の3種類に分類することができる。

機械式や光学式は、精密な測定が可能ではあるが、大型化しやすい。そういったものは小型の機器に搭載できないので、昨今の流行は小型化可能な半導体式である。

3軸加速度センサーは、変位を検知する方法により、いくつかの種類に分類できる。

民生機器向けに開発されている3軸加速度センサーの殆どは、加速度検知機構を半導体プロセスで作るMEMS(Micro Electro Mechanical System)センサーである。

MEMS加速度センサーは、その検知機構の違いにより、ピエゾ抵抗型、静電容量型、熱感知型の3種類に分けられる。

例えば、登場時点で世界最小パッケージとされたBOSCH Sensortec製のBMA250Eの場合は、静電容量型である。この製品は、インターフェイスにはI²Cを採用している。