微小機械。μm(0.000001m)単位の大きさの機械のこと。

コンマμm単位の3次元構造物によるパーツにより構成され、ICチップ並のサイズで歯車やバネなどの物理的動作を従う機械を実現する。動作精度がμmレベルでコントロールできるようになる他、完成品が半導体などの電子機器と同レベルのサイズで作れるようになる。

実際の実現にはシリコン加工によるマイクロマシンなどがある。

1990年代に入って実用レベルの研究が進み、1991(平成3)年には日本でも通産省指導によるマイクロマシン技術の専門プロジェクトが組まれ研究開発が進められた。1990年代後半には実際の製品にも多数応用され、自動車のナビゲートシステムやエアバッグ、光ファイバーネットワークなどに利用されている。また、1m四方サイズの工場 "マイクロファクトリー" なども研究が進められている。

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